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百级无尘室

日期:2019-07-22 03:28
浏览次数:0
摘要:<p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 世界各国均有自定规格,但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【Federal&nbsp;Standard&nbsp;(FS)&nbsp;209E,&nbsp;1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5μm,例如,1级、10级、100级无尘室*大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5μm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英尺) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105120715_4980.jpg" alt="" /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 风系统流程图 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 系统采用的是全新风空调箱+FFU系统. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> &lt;1&gt;全新风空调箱结构 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> &lt;2&gt;FFU:(FAN&nbsp;FILTER&nbsp;UNIT)&nbsp;即风机和过滤器 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995% </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 水系统水系统流程图(现场画) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 冰水系统分为一次侧和二次侧. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 一次侧冰水水温7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 板式换热器原理(现场画图). </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 干盘管:不结露的盘管,因无尘室温度在22度,其露点温度12度左右,故7度冰水不能直接进入无尘室,所以进干盘管的冰水温度在12-14度. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 控制系统(DDC) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 温度:干盘管系统控制 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;"><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113128_3555.jpg" alt="" /><br /> </span> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;">1.</span><span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;">乱流式</span> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 2.层流式 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 层流式空气气流运动成一均匀之直线形,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class&nbsp;1~100。其型式可分为二种: </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑴水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑵垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 3.复合式 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。百级无尘车间, </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑴洁净隧道(Clean&nbsp;Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;&nbsp;B.维修设备时可在维修区轻易执行。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑵洁净管道(Clean&nbsp;Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑶并装局部无尘室(Clean&nbsp;Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <br /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;background-color:#FFFFFF;"> <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113231_1976.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113243_0185.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113257_7642.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113320_0359.jpg" alt="" /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;text-indent:0pt;white-space:normal;background-color:#FFFFFF;"> &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;欢迎新老顾客来我司参观洽谈..... </p>

世界各国均有自定规格,但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5μm,例如,1级、10级、100级无尘室*大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5μm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)

风系统流程图

系统采用的是全新风空调箱+FFU系统.

<1>全新风空调箱结构

<2>FFU:(FAN FILTER UNIT) 即风机和过滤器

千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%

水系统水系统流程图(现场画)

冰水系统分为一次侧和二次侧.

一次侧冰水水温7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.

一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.

板式换热器原理(现场画图).

干盘管:不结露的盘管,因无尘室温度在22度,其露点温度12度左右,故7度冰水不能直接进入无尘室,所以进干盘管的冰水温度在12-14度.

控制系统(DDC)

温度:干盘管系统控制

湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量

正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量.


1.乱流式

空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。

优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。

缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制

程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

2.层流式

层流式空气气流运动成一均匀之直线形,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:

⑴水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。

⑵垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。

3.复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。百级无尘车间,

⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。

此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

⑵洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

⑶并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。


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